MC-280-PO

Kompakte Beschichtungsanlage für kleinere Losgrößen

Die MC-280-PO ist eine kompakte, in sich geschlossene Anlage für die unterschiedlichsten Dünnfilmbeschichtungstypen auf organischen und mineralischen Gläsern sowie optischen IR-Materialien mittels thermischer Verdampfung (PVD). Kombiniert mit einem Ultraschall-Reinigungssystem bildet die Beschichtungsanlage mit 3-teiliger Kalotte eine Komplettlösung für vielfältige Beschichtungsanforderungen. Komplexe, einheitliche Dünnschichtsysteme verbinden sich mit einer intuitiven, einfachen Prozesskonfiguration. 

Vorteile und Eigenschaften

  • Kurze Produktionszyklen mit optionaler Meissnerfalle zur Abpumpung von Wasserdampf
  • Hoch- und Niedrigtemperaturoptionen zur Substraterwärmung
  • Einzeln oder doppelt ausgeführte Elektronenstrahlsysteme mit IAD-Technologie, thermisch-resistive Quelle als Option
  • Vollkalotte für optimalen Durchsatz oder Planetenoptionen (auf Anfrage)
  • Benutzerfreundliche MMS-Steuerungssoftware
  • Optimale Kammerabmessungen für kleine Losgrößen, Prototyping und FuE-Anwendungen

Technische Daten

  • Stromversorgung: 400 V, 3P + N + E, 50/60 Hz, 15 kVA
  • Abmessungen (B x T x H): 1.453 x 1.481 x 2.124 mm / 57 x 58 x 84 Zoll
  • Gewicht: 1.150 kg / 2.535 lb

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