1200-PO
Modernste Beschichtungsanlage für die Massenproduktion auf dem Markt
Die 1200-PO ist für eine 24-Stunden-Produktion ausgelegt und setzt mit Prozesszeiten von nur 20 Minuten (von Tür zu Tür) neue Maßstäbe in Sachen Produktivität und Betriebskosten. In Kombination mit MES-360, dem Manufacturing Execution System von Satisloh, werden diese Vorteile noch weiter optimiert. Das automatische Reporting liefert zeitnah wertvolle Informationen über die Produktivität der Maschine und weitere wichtige KPIs.
Effizienz & Flexibilität
Die Anlage kann mit einer Vielzahl an Komponenten ausgestattet werden, um das breite Anforderungsspektrum bei der Beschichtung von Präzisionsoptiken zu erfüllen. Die Konfiguration erfolgt entsprechend der Kundenwünsche. Das Resultat ist eine Maschine mit allen Funktionen und Möglichkeiten, die für eine nahtlose Integration in die Produktionsumgebung erforderlich sind.
Optionen für die Maschinenkonfiguration
- Zweiachsiges Planetensystem für optimale Beschichtungsgleichmäßigkeit (≤ 1 % physikalische Dickenabweichung), sowie Segment- oder Vollkuppeln
- Unterschiedliche Größen an Elektronenstrahlkanonen und verschiedene Konfigurationsmöglichkeiten für die Taschen, die durch ihr Design Kreuzkontaminierungen verhindern
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Ionenstrahloptionen, einschließlich End-Hall- oder Hohlkathodenstrahlen für IAD oder RF-Plasmastrahl für PIAD- oder PECVD-Filme.
- Substratheizungsoptionen, einschließlich Calrod, IR-Quarzlampen und der einzigartigen Satisloh IR-Lampenheizung, die aufgrund ihrer Platzierung hinter der Maske vor Verunreinigungen durch das Beschichtungsmaterial geschützt ist.
- Hochleistungspumpensysteme, einschließlich Diffusions- oder zyrogener Pumpen für hohes Vakuum und Rotations-/Roots- oder trockener Vorpumpen
- Optionen für thermische Quellen mit niedriger oder hoher Leistung zur Abscheidung von Metallen
- Ionenstrahloptionen, einschließlich End-Hall- oder Hohlkathodenstrahlen für IAD oder RF-Plasmastrahl für PIAD- oder PECVD-Filme.
- Substratheizungsoptionen, einschließlich Calrod, IR-Quarzlampen und der einzigartigen Satisloh IR-Lampenheizung, die aufgrund ihrer Platzierung hinter der Maske vor Verunreinigungen durch das Beschichtungsmaterial geschützt ist.
5CK Elektronenstrahlkanone mit hoher Materialkapazität
Die 1200-PO bietet drei EBG-Größen zur Auswahl, von denen die größte die 5CK XL-Quelle für dicke Verdampfungsschichten oder besonders vielschichtige Beschichtungsstapel ist. Diese Elektronenstrahlkanone für besonders viel Beschichtungsmaterial bietet ununterbrochene Beschichtungsdurchgänge für die anspruchsvollsten Anforderungen.
RF-Plasmaquelle
Der Einsatz von Plasmastrahlunterstützung bei der Beschichtung sorgt für die gewünschten Schichtdichten, höhere Brechungsindizes und eine verbesserte Schichthomogenität. Diese Eigenschaften führen zu einer höheren Prozesswiederholbarkeit sowie zu feuchtigkeitsstabilen, verschiebungsfreien Beschichtungen.
Technische Spezifikationen
| Substratmaterial: | Glas, Polymere, kristalline und metallische Optiken |
| Substrathalter: | Kuppel (Sektoren oder vollständig ringlos), zweiachsiger Planetenhalter und andere Optionen auf Anfrage |
| Kapazität: | Bis zu 209 Linsen Ø 70 mm |
| Abmessungen (bxdxh): | 2171 x 3145 x 2440 mm / 85.5 x 123.8 x 96 inches |
| Gewicht: | ca. 3637 kg / 8018 lbs |
Alle technischen Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden. Überprüfen Sie die Details mit Satisloh.
